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产品简介
产品介绍
MGDS 隔膜阀，膜片式硬密封结构，超低漏率；适用于超高纯度气体，半导体用（毒、腐）气体，满足一体化气体分配系统的使用。
主要部件材料
阀体 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封垫 PCTFE
工作条件
工作压力 150psig
爆破压力 450psig
流量系数 0.1/0.3HF
工作温度 -10 ～ 80℃
内漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
产品特点
适用于一体化气路分配系统
每台阀门进行单独氦质谱泄漏测试
超长使用寿命
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